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东方洁净室的洁净度测试内容说明
作者：admin2019-07-09 14:24
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洁净室的洁净度测试是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响。因此洁净室洁净度测试都放在几项测试都通过之后。洁净室的洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。
洁净室洁净度测试使用微粒计数器，仪器须经校正合格且仍在有效期限内，交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格，常见的是流量1cfm，小粒径可测到0.3mm或是0.1mm，单位多是立方英。至于应使用何种设备，要依业主的规范而定。-般在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。
Class1000或更高:0.5um
Class100：0.3μm，0.5um
Class1到Class10:0.1μm
若是业主要求的洁净室粒径范围超过单-微粒计数器的范围,则应该使用两部微粒计数器。
洁净室的洁净度具体测试步骤：
1、确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。
2、确认测试位置与测试点数。
3、取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。
4、测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。
5、测量点数以公式计算(与209E相同)。
洁净室的洁净度验收基准有几点，首先是每点的微粒测量平均值要低于规定值。其次，任一隔间若需使用信赖度上限分析，则该分析值也要小于规定值。
